Peneliti : Bambang Sunendar Purwasasmita dan Maria Puspita
Abstrak :
Lapisan tipis barium titanat merupakan material dielektrik yang tepat digunakan dalam aplikasi multilayer ceramic capasitor (MLCC). Keunggulan lapisan tipis barium titanat terletak pada konstata barium titanat yang tinggi serta jarak antar lapisan diperkecil, maka diharapkan dapat meningkatkan performasi dari sebuah kapasitor. Lapisan tipis ini disintesis melalui wet method yaitu self-assembly monolayer. Proses sintesis melalui metode ini dapat dihasilkan lapisan tipis dengan ketebalan di bawah satu (1) mm. Ketebalan lapisan tipis ini juga dipengaruhi oleh konsentrasi prekursor, waktu perendaman serta temperatur kalsinasi. Dalam proses karakterisasi diperoleh ketiga hal tersebut tidak hanya berpengaruh pada ketebalan saja, tetapi juga mempengaruhi struktur kristal yang yang terbentuk, sturktur tetragonal atau struktur kubik. Konsentrasi yang prekursor yang menghasilkan struktur kristal tetragonal dalam kurun waktu perendaman dua puluh (20) jam merupakan konsentransi yang bernilai 0,1 M. Waktu perendaman 20 jam menghasilkan ketebalan lapisan yang lebih besar dibandingkan dengan proses sintesis dengan waktu perendaman 16 jam. Selain itu, Temperatur kalsinasi yang tepat untuk menghasilkan struktur kristal tetragonal dalam konsentrasi 0,1 M dan waktu perendaman 20 jam adalah 900oC.
Kata kunci : BaTiO3, Lapisan Tipis, Self-Assembly Monolayer
Link Download : Form Permintaan JKGI